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新型激光比長儀有效提升長度精密測量能力水

2019-09-11 0人讀過

  日前,由中國計量科學研究院聯合常州市計量測試技術研究所等單位研製的2台“新型多功能1m激光比長儀裝置”,分別在江蘇省常州市計量測試技術研究所、無錫市計量測試中心實驗室完成線紋尺測量精度測試。裝置實現了線紋尺測量不確定度U=μm,重複性優於 0nm,到達了國內先進水平,可以滿足目前已有線紋尺的動態高精度校準,有效提升了相關計量技術機構的1維長度精密丈量能力水平。

  設備製造業是常州、無錫等長三角地區城市的傳統和優勢產業,近年來更朝著“技術含量高、附加值高”的高端設備製造方向發展。這對製造業的“眼睛”——長度幾何量測量的精度、範圍、種類等提出了新的更高要求。為此,中國計量院、常州市計量測試技術研究所牽頭,聯合無錫市計量測試中心、長春理工大學、中航工業青島前哨精密儀器有限公司等多家單位,開展了“新型多功能1m激光比長儀”的研製,旨在為常州、無錫計量技術機構分別搭建一套多功能、可擴展的1維精密測長設備和科研實驗平台,提升其對周邊地區高端製造業紋尺等長度標準器校準和其它長度幾何量精密測量方麵的服務能力。

  據中國計量院孫雙花副研究員介紹,裝置借鑒了中國計量院“激光幹涉比長儀線紋工作基準”的精密激光幹涉測長、高精度光電顯微鏡動態瞄準、精密氣浮控製等關鍵技術,可以實現線紋尺、激光幹涉儀及位移傳感器等的動態高精度校準。裝置主體采取天然花崗岩結構,基於變形分析和建模進行了精心設計,床身尺寸 .4m×1m×0.7m,整體重達9噸,導軌直線度實測優於1μm/m,可有效避免移動工作台運動致使的機械變形,抗震性能好,長時間穩定性優。另外,顯微鏡工作距離達到28mm,適用於各種厚度的線紋尺刻線麵朝向物鏡或背向物鏡檢測,線紋尺校準與其使用狀態一致,保障了量值傳遞的精度和可靠性。

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